应用方案 * 用于晶圆切片的高精度激光加工 · 官方资料

资料介绍

高性能EtherCAT运动控制器采用19英寸机架，集成了驱动器、电源和功能安全性；>> A-814 PIglide运动控制器；A-82x 用于4、6或8轴的PIglide运动控制器

完整参考流程与版本请查看官方页面，本站不托管手册。