资料介绍
厂家“CVD工艺气体传输控制柜”页面列示工程规格；本站提供官方网页索引，完整说明、版本和适用条件以原页面为准。
此条为官方网页技术资料索引，完整规格、版本与适用条件请查看厂家原页面。
官网规格摘录
| 项目 | 官网列示值 |
|---|---|
| 保压测试50psi | 氮气保压测试, 保压12h,压降 ≤1% |
| 颗粒测试 | (5 particle @ >0.1um) |
以上为官网字段摘录，具体适用型号与条件请核对原页面。
原始资料
文档由官方来源提供，请核对适配型号及硬件版本。
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参考来源
来源：沈阳富创精密设备股份有限公司 官网 · 查看来源 ↗
作者 / 编辑：宝典蛙编辑 · 最后更新：2026-10-08 10:07