浙江金瑞泓科技股份有限公司产品中心-浙江金瑞泓科技股份有限公司产品服务（官方网页）

厂家“产品中心-浙江金瑞泓科技股份有限公司产品服务”页面列示工程规格；本站提供官方网页索引，完整说明、版本和适用条件以原页面为准。

编辑：宝典蛙编辑更新：2026-10-07

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资料介绍

厂家“产品中心-浙江金瑞泓科技股份有限公司产品服务”页面列示工程规格；本站提供官方网页索引，完整说明、版本和适用条件以原页面为准。

此条为官方网页技术资料索引，完整规格、版本与适用条件请查看厂家原页面。

项目	官网列示值
直径	150 mm / 200 mm / 300 mm
衬底电阻率（重掺）	P 型 B：1 ~ 5 mΩ·cm ｜ 10 ~ 20 mΩ·cmN 型 Ph：0.8 ~ 1.85 mΩ·cmN 型 As：1.8 ~ 5 mΩ·cmN 型 Sb：8 ~ 20 mΩ·cm
衬底电阻率（轻掺）	P 型 B：8 ~ 12 Ω·cm ｜ 1 ~ 100 Ω·cmN 型 Ph：7 ~ 16 Ω·cm ｜ 1 ~ 100 Ω·cm定制开发：> 5000 Ω·cm、> 10000 Ω·cm ……
外延厚度与电阻率	N 型 PH3：THK 1 ~ 180 μm ｜ RES 0.005 ~ 1200 Ω·cmN 型 AsH3：THK 1 ~ 180 μm ｜ RES 0.005 ~ 150 Ω·cm国内少数已量产P 型 B2H6：THK 1 ~ 60 μm ｜ RES 0.005 ~ 800 Ω·cm

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