资料介绍
厂家“半导体机器人、洁净机器人，真空机器人，EFEM，Sorter，真空平台-晶圆传输专业厂家上海广川科技”页面列示工程规格；本站提供官方网页索引，完整说明、版本和适用条件以原页面为准。
此条为官方网页技术资料索引，完整规格、版本与适用条件请查看厂家原页面。
官网规格摘录
| 项目 | 官网列示值 |
|---|---|
| 搬运对象 Wafer | 300mm Silicon Wafer(直径:300mm±0.2mm 厚度:775μm) |
| 对应 Carrier | 300mm FOUP, 300mm Auto FOSB |
| FFU | ULPA 99.99995% at 0.1~0.2μm |
| 电源电压 | 单相 220V, 50Hz, 3KVA |
| AIR | ONE TOUCH φ6 0.6MPa~1.0MPa 100L/min |
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作者 / 编辑：宝典蛙编辑 · 最后更新：2026-10-08 10:08